水处理类

UPW _超纯水

(资料图)

RO _ 反渗透膜

DI _去离子水

TOC_总有机碳

PCW_制程冷却水

DIWS_去离子水供应端

DIWR_去离子水回水端

CW_自来水

FWW_低浓度氢氟酸废水

IWW_工业废水

OWW_有机溶剂废水

DAHW_含氨废水

RCL_制程回收循环水

RCM_制程回收再利用水

HFW_高浓度氢氟酸废水

BGW_晶背研磨废水

SAW_硫酸废液

PAW_磷酸废液

SW_剥离液废液

TW_清洗废液

PIX_废液

气体/化学类

VMB_阀箱

VMP_阀盘

GMS_气体监测系统

CDS_化学系统

PN2_高纯氮气

GN2_普通氮气

DA_压缩空气

CDA_洁净压缩空气

N2_氮气

O2_氧气

H2_氢气

NH3_氨气

Ar_氩气

He_氦气

管道缩写

SS_不锈钢

316_管道材质

304_管道材质

EP_电解抛光

BA_光亮退火

MP_机械抛光

AP_酸洗钝化

Vent_排放

Pigtail_猪尾巴

先分享这些吧，要开始上班了，下次分享空调哒！